CF4ドライエッチングによるSi3N4光導波路の波長830nmにおける伝搬損失測定
CF4ドライエッチングによるSi3N4光導波路の波長830nmにおける伝搬損失測定
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CF4干法刻蚀测量Si3N4光波导波长830nm的传播损耗
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
周霄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西和哉;上田弘貴;藤井志貴;竹内光明;龍頭啓充;高岡義寛;K. Yamashita;周霄
