M. Syed: "Temperature Effects on the Structure of Poly-Si Films by Glow-Discharge Decomposition Using SiHィイD24ィエD2/SiFィイD24ィエD2"Jpn. J. Appl. Phys.. 38-3A. 1303-1309 (1999)
M. Syed: "Temperature Effects on the Structure of Poly-Si Films by Glow-Discharge Decomposition Using SiHィイD24ィエD2/SiFィイD24ィエD2"Jpn. J. Appl. Phys.. 38-3A. 1303-1309 (1999)
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M. Syed：“利用 SiH-D24-D2/SiF-D24-D2 进行辉光放电分解对多晶硅薄膜结构的影响”Jpn. J. Phys. 1303-3A。 1999）
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