ダイレクトウェハ化による低転位単結晶ダイヤモンド基板の作製
ダイレクトウェハ化による低転位単結晶ダイヤモンド基板の作製
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直接切片法制备低位错单晶金刚石基片
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鹿田 真一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
杢野 由明;加藤 有香子;坪内 信輝;茶谷原 昭義;山田 英明;鹿田 真一
