真空保持機構への応用に向けた電気粘着表面の開発と性能評価
真空保持機構への応用に向けた電気粘着表面の開発と性能評価
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用于真空保持机构的电粘合表面的开发和性能评估
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山田宗一郎，新野槙太郎，柿沼康弘，青山藤詞郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Miyazaki;K. Nagato;Y. Watanabe;K. Takahashi;N. Shikazono;and M. Nakao;山田宗一郎，新野槙太郎，柿沼康弘，青山藤詞郎
