Gold-assisted chemical etching of silicon dioxide technique and application for micro-pattering
Gold-assisted chemical etching of silicon dioxide technique and application for micro-pattering
复制标题
金辅助二氧化硅化学刻蚀技术及其在微图案化中的应用
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R. Kometani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Murakami;E. Maeda;R. Kometani
