Design and Fabrication of Epitaxial-PMnN-PZT Doughnut-shape pMUT
Design and Fabrication of Epitaxial-PMnN-PZT Doughnut-shape pMUT
复制标题
外延-PMnN-PZT 环形 pMUT 的设计与制造
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Liu Ziyi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Fujita Tomohiro;Kume Jun'ya;Mukaida Kyohei;Tada Yuichiro;Liu Ziyi
