Control of Interface Layers for Selective Atomic Layer Etching
Control of Interface Layers for Selective Atomic Layer Etching
复制标题
选择性原子层蚀刻的界面层控制
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Masaru Hori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takayoshi Tsutsumi;R. Vervuurt;N. Kobayashi;and Masaru Hori
