超短パルス軟X線レーザー特有の表面加工メカニズムを解明-ナノスケールの超精密・直接加工が可能に!-

超短パルス軟X線レーザー特有の表面加工メカニズムを解明-ナノスケールの超精密・直接加工が可能に!-
复制标题

阐明超短脉冲软X射线激光器特有的表面加工机制——纳米级超精密直接加工现在成为可能!

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献