Increasing tensile stress in poly-Si film structure by metal-induced lateral crystallization using ferritin supramolecules with Ni nanoparticles
Increasing tensile stress in poly-Si film structure by metal-induced lateral crystallization using ferritin supramolecules with Ni nanoparticles
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使用含镍纳米粒子的铁蛋白超分子通过金属诱导横向结晶增加多晶硅薄膜结构中的拉伸应力
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Sasaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Kumagai;S.Miyachi;I.Yamashita;Y.Uraoka;M.Sasaki
