ITO透明導電膜の低温成膜における水蒸気の効果
ITO透明導電膜の低温成膜における水蒸気の効果
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水蒸气对ITO透明导电薄膜低温沉积的影响
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
星陽一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
加藤博臣;船津健太郎;星陽一
