加藤隆史: "SOG法によるメチレン基含有シリカ膜の形成"第61回応用物理学会学術講演会講演予稿集. No.2. 4a-P4-25 (2000)
加藤隆史: "SOG法によるメチレン基含有シリカ膜の形成"第61回応用物理学会学術講演会講演予稿集. No.2. 4a-P4-25 (2000)
复制标题
加藤隆：“通过SOG法形成含亚甲基的二氧化硅膜”第61届日本应用物理学会年会论文集No.2.4a-P4-25(2000)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
