ECRスパッタ成膜参照板による新規干渉縞パターンの観察
ECRスパッタ成膜参照板による新規干渉縞パターンの観察
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使用 ECR 溅射沉积参考板观察新的干涉条纹图案
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大原佑太，横山大地，鈴木天，月山陽介，新田勇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masafumi ASAHI;Yasuhiro TAKAYA;Masaki MICHIHATA;旭真史，高谷裕浩，水谷康弘;大原佑太;大原佑太;宮田晃輔，大原佑太，横山大地，月山陽介，新田勇;大原佑太，横山大地，鈴木天，月山陽介，新田勇
