数値制御ローカルウエットエッチング法を用いたSOIの膜厚均一化加工 -フッ硝酸を用いたSiの加工特性-
数値制御ローカルウエットエッチング法を用いたSOIの膜厚均一化加工 -フッ硝酸を用いたSiの加工特性-
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使用数控局部湿式蚀刻法进行SOI的均匀膜厚加工-使用氟硝酸的Si的加工特性-
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山村和也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三谷卓朗;山村和也
