Fabrication of Stackable Knudsen Pump Driven by Hot Water

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热水驱动的可堆叠努森泵的制造

DOI:
10.3131/jvsj2.60.481
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发表时间:
2017
期刊:
Journal of the Vacuum Society of Japan
影响因子:
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通讯作者:
杉元 宏
杉元 宏
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
田村 翔太;杉元 宏

文献摘要

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