真空インターフェースのための小型カスケードアークプラズマ源の開発
真空インターフェースのための小型カスケードアークプラズマ源の開発
复制标题
用于真空接口的紧凑级联电弧等离子体源的开发
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
難波愼一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
渡瀬五常;牛尾公平;藤井正明;酒井誠;難波愼一;難波愼一;難波愼一
