大村高志、加賀広持、大江一行: "Gap length dependence of electron energy distribution in low pressure Ar capacitively-coupled RF discharges"Jpn. J. Appl. Phys.. 39(in press). (2000)
大村高志、加賀広持、大江一行: "Gap length dependence of electron energy distribution in low pressure Ar capacitively-coupled RF discharges"Jpn. J. Appl. Phys.. 39(in press). (2000)
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Takashi Omura、Hiromochi Kaga、Kazuyuki Oe：“低压 Ar 电容耦合射频放电中电子能量分布的间隙长度依赖性”Jpn. J. Phys.. 39（出版中）。
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