S. Shimada, H. Tanaka, N. Ikawa: "Atomistic Mechanism of Surface Generation in Micromachining of Monocrystalline Silicon"Proc. 1st euspen conference. 1. 230 (1999)
S. Shimada, H. Tanaka, N. Ikawa: "Atomistic Mechanism of Surface Generation in Micromachining of Monocrystalline Silicon"Proc. 1st euspen conference. 1. 230 (1999)
复制标题
S. Shimada、H. Tanaka、N. Ikawa：“单晶硅微加工中表面生成的原子机制”Proc。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
