M.Sasaki, S.Nogawa, K.Hane: "Spray coating of photoresist for three dimensional micromachining"電気学会論文誌E. 121-E(印刷中). (2002)
M.Sasaki, S.Nogawa, K.Hane: "Spray coating of photoresist for three dimensional micromachining"電気学会論文誌E. 121-E(印刷中). (2002)
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M.Sasaki、S.Nokawa、K.Hane:“用于三维微加工的光致抗蚀剂喷涂”,日本电气工程师学会会刊 E. 121-E(出版中)。
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