電子基板用プラスチック材料における微細溝形状の創成
電子基板用プラスチック材料における微細溝形状の創成
复制标题
在电子基板用塑料材料中形成微细沟槽形状
DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
堀尾健一郎
中科院分区:
文献类型:
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作者:
三輪直彦;金子順一;堀尾健一郎