柴田隆行, 牧野英司: "ダイヤモンドMEMS"砥粒加工学会誌. 46(6). 286-289 (2002)
柴田隆行, 牧野英司: "ダイヤモンドMEMS"砥粒加工学会誌. 46(6). 286-289 (2002)
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Takayuki Shibata，Eiji Makino：“金刚石 MEMS”磨料加工学会杂志 46(6) (2002)。
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