T.Ogawa 他3名: "AIN thin films gravn by plasma-assisted pulsed laser depasition" Applied Surface Science. 113/114. 57-60 (1997)
T.Ogawa 他3名: "AIN thin films gravn by plasma-assisted pulsed laser depasition" Applied Surface Science. 113/114. 57-60 (1997)
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T. Okawa 和其他 3 人:“通过等离子体辅助脉冲激光沉积法雕刻 AIN 薄膜”,《应用表面科学》113/114(1997 年)。
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