PZT薄膜キャパシタのインプリント特性の分極方向依存性ならびに膜厚依存性

PZT薄膜キャパシタのインプリント特性の分極方向依存性ならびに膜厚依存性
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PZT薄膜电容器压印特性的偏振方向和膜厚依赖性

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
小鹿 聡一郎
小鹿 聡一郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
S.;Okamura;川瀬大輔;Daisuke Kawase;小鹿 聡一郎

文献摘要

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