TaN薄膜を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器の作製
TaN薄膜を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器の作製
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利用TaN薄膜制作微波机械电感探测器
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中島 健介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山田 博信;小川 裕平;岡 大輝;齊藤 敦;大嶋 重利;有吉 誠一郎;中島 健介
