SiO_2中の拡散に与えるSi/SiO_2界面の影響
SiO_2中の拡散に与えるSi/SiO_2界面の影響
复制标题
Si/SiO_2界面对SiO_2扩散的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
深津茂人;伊藤公平;植松真司;藤原聡;影島博之;高橋庸夫;他
