Hierarchal Decomposition for the Structure-Fluid-Electrostatic Interaction in a Microelectromechanical System
Hierarchal Decomposition for the Structure-Fluid-Electrostatic Interaction in a Microelectromechanical System
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微机电系统中结构-流体-静电相互作用的层次分解
DOI：
10.3970/cmes.2014.101.421
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发表时间：
2016
影响因子：
2.4
通讯作者：
A. Baba
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
D. Ishihara;T. Horie;T. Niho;A. Baba
本文提出了一种求解微机电系统结构-流体-静电相互作用的层次分解方法。采用迭代交错法将结构-流体-静电相互作用划分为结构-流体相互作用和静电场，采用投影法将结构-流体相互作用划分为结构-流体速度场和流体压力场。将所提出的分解方法应用于受空气静电力驱动的微悬臂梁。数值结果与实验结果的比较表明，该方法能够准确预测MEMS的振动特性。
In this study, a hierarchal decomposition is proposed to solve the structure-fluid-electrostatic interaction in a microelectromechanical system (MEMS). In the proposed decomposition, the structure-fluid-electrostatic interaction is partitioned into the structure-fluid interaction and the electrostatic field using the iteratively staggered method, and the structure-fluid interaction is split into the structurefluid velocity field and the fluid pressure field using the projection method. The proposed decomposition is applied to a micro cantilever beam actuated by the electrostatic force in air. It follows from the comparisons among the numerical and experimental results that the proposed method can predict the MEMS vibration characteristics accurately.
使用新代数分裂的不可压缩流体与结构相互作用的投影方法
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
Computer Modeling in Engineering and Sciences
影响因子：
--
作者：
D. Ishihara;T. Horie
通讯作者：
T. Horie
双翅目扑翼被动俯仰运动气动贡献的实验和计算研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
Daisuke Ishihara;Tomoyoshi Horie;Tomoya Niho;石原大輔，堀江知義，二保知也;D. Ishihara
通讯作者：
D. Ishihara