アナターゼ型TixTa1-xO1+yN1-z薄膜のエピタキシャル成長
アナターゼ型TixTa1-xO1+yN1-z薄膜のエピタキシャル成長
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锐钛矿型TixTa1-xO1+yN1-z薄膜的外延生长
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木温，廣瀬靖，岡大地，中尾祥一郎，松崎浩之，福谷克之，石井聡，笹公和，関場大一郎，福村知昭，長谷川哲也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Suzuki;Y. Hirose;D. Oka;S. Nakao;H. Matsuzaki;K. Fukutani;S. Ishii;K. Sasa;D. Sekiba;T. Fukumura;T. Hasegawa;鈴木温，廣瀬靖，岡大地，中尾祥一郎，松崎浩之，福谷克之，石井聡，笹公和，関場大一郎，福村知昭，長谷川哲也
