ESRStudy of Elements Added-DLC Films Depositedby PBII and RF-CVD Methods
ESRStudy of Elements Added-DLC Films Depositedby PBII and RF-CVD Methods
复制标题
PBII和RF-CVD方法沉积添加元素的DLC薄膜的ESR研究
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Sato and S. Watanabe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Moolsradoo;H. Sato and S. Watanabe
