Modeling of Ion-Bombardment Damage on Si Surfaces for In-Line Analysis
Modeling of Ion-Bombardment Damage on Si Surfaces for In-Line Analysis
复制标题
用于在线分析的硅表面离子轰击损伤建模
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A.Matsuda;Y.Nakakubo;M.Kamei;Y.Takao;K.Eriguchi;K.Ono
