Interdependence of Parameters in Reactive Sputtering of Manganese in Oxygen
Interdependence of Parameters in Reactive Sputtering of Manganese in Oxygen
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氧气中锰反应溅射参数的相互依赖性
DOI：
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发表时间：
1972
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
F. Vrátný
中科院分区：
文献类型：
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作者：
L. Locker;R. W. Landorf;C. Naegele;F. Vrátný
