Single-chip surface micromachined integrated gyroscope with 50°/h allan deviation
Single-chip surface micromachined integrated gyroscope with 50°/h allan deviation
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DOI：
10.1109/jssc.2002.804345
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发表时间：
2002-12-01
影响因子：
5.4
通讯作者：
Lewis, SR
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Geen, JA;Sherman, SJ;Lewis, SR
介绍了一种批量生产的表面微机械陀螺仪的设计原理。该器件集成在一块3微米BiCMOS3微米×3微米芯片上。它具有4微米厚的多晶硅结构，5 V 6 mA电源，12.5 mV/度/S灵敏度，10000：1动态范围，3万Gee冲击寿命，以及-55℃至+85℃的工作温度。
The design principles of a mass-produced surface micromachined gyroscope are described. The device is integrated on a single 3 nun x 3 nun chip with a 3-mum BiCMOS process. It has a 4-mum-thick polysilicon structure, 5-V 6-mA supply, 12.5-mV/degrees/s sensitivity, 10 000 : 1 dynamic range, 30 000-gee shock survival, and -55 degreesC to +85 degreesC operating temperature.