高密度熱プラズマジェット照射ミリ秒急速熱処理による極浅接合形成
高密度熱プラズマジェット照射ミリ秒急速熱処理による極浅接合形成
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通过高密度热等离子体射流辐照进行毫秒快速热处理形成超浅键
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
古川弘和
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Okada;T. Okada;H. Furukawa;H. Furukawa;T. Yorimoto;T. Okada;岡田竜弥;岡田竜弥;T. Okada;加久博隆;加久博隆;H. Furukawa;古川弘和
