Masaharu Shiratani: "STUDY ON GROWING PROCESS OF SILICON PARTICLES IN SILANE PLASMAS" Proc.8th Symp.Plasma Processing. 345-348 (1991)
Masaharu Shiratani: "STUDY ON GROWING PROCESS OF SILICON PARTICLES IN SILANE PLASMAS" Proc.8th Symp.Plasma Processing. 345-348 (1991)
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Masaharu Shiratani：“硅烷等离子体中硅颗粒生长过程的研究”Proc.8th Symp.Plasma Process。
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