Silicon Integrated Tactile Sensor Arrays Based On Cmos Compatible Mems Fabrication Technology
Silicon Integrated Tactile Sensor Arrays Based On Cmos Compatible Mems Fabrication Technology
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基于 CMOS 兼容 Mems 制造技术的硅集成触觉传感器阵列
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Takao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Takao
