G.S.Chung,et al.: "Novel Pressure sensors with Multilayer SOI structures." IEE Electronics Letters. 26. 775-776 (1990)
G.S.Chung,et al.: "Novel Pressure sensors with Multilayer SOI structures." IEE Electronics Letters. 26. 775-776 (1990)
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G.S.Chung 等人：“具有多层 SOI 结构的新型压力传感器。”
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