Diamond film synthesis on Mo in thermal RF plasma
Diamond film synthesis on Mo in thermal RF plasma
复制标题
热射频等离子体中 Mo 上的金刚石薄膜合成
DOI：
10.1016/0925-9635(92)90035-m
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发表时间：
1992
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Vattulainen
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Hernberg;T. Lepisto;T. Ma¨ntyla¨;T. Stenberg;J. Vattulainen
