Deposition of Al-doped zinc oxide thin films using various mixed powder targets by sputtering method
Deposition of Al-doped zinc oxide thin films using various mixed powder targets by sputtering method
复制标题
不同混合粉末靶材溅射法沉积Al掺杂氧化锌薄膜
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoshiaki Suda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tamiko Ohshima;Hiroharu Kawasaki;Yoshihito Yagyu;Takeshi Ihara;Yoshiaki Suda
