Novel Supercritical Fluid Deposition Technique of SiO2 using Flow Channel Reactor

Novel Supercritical Fluid Deposition Technique of SiO2 using Flow Channel Reactor
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使用流道反应器的 SiO2 超临界流体沉积新技术

DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
百瀬健
百瀬健
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
大伴真名歩;他(筆頭著者・発表者);百瀬健

文献摘要

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