The transition of preferred orientation of Wurtzite (0002) to (11-20)-plane via heavily Fe doping to AlN using RF sputtering
The transition of preferred orientation of Wurtzite (0002) to (11-20)-plane via heavily Fe doping to AlN using RF sputtering
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使用射频溅射通过重度 Fe 掺杂到 AlN 使纤锌矿 (0002) 择优取向转变为 (11-20) 面
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Isshiki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Tatemizo;S. Imada;K. Nishio;and T. Isshiki
