Micromechanical Devices With Embedded Electro-Thermal-Compliant Actuation

Micromechanical Devices With Embedded Electro-Thermal-Compliant Actuation
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具有嵌入式电热兼容驱动的微机械设备

DOI：
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发表时间：
1999
期刊：
IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS
影响因子：
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通讯作者：
G. K. Ananthasuresh
G. K. Ananthasuresh
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T. Moulton;G. K. Ananthasuresh

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