Alトンネルエッチングの位置制御とピット成長挙動
Alトンネルエッチングの位置制御とピット成長挙動
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铝隧道蚀刻的位置控制和凹坑生长行为
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
益田秀樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
福島達郎;西尾和之;益田秀樹
