Chemical state, structure and mechanical properties of multi-element (CrTaNbMoV) Nx films by reactive magnetron
Chemical state, structure and mechanical properties of multi-element (CrTaNbMoV) Nx films by reactive magnetron
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反应磁控管多元素（CrTaNbMoV）Nx薄膜的化学态、结构和力学性能
DOI：
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发表时间：
2019
影响因子：
4.6
通讯作者：
Xingguo Feng
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Xingguo Feng
