Growth and chemical thermodynamics analysis of SiC film on si substrate by heating polystyrene/silica bilayer method
Growth and chemical thermodynamics analysis of SiC film on si substrate by heating polystyrene/silica bilayer method
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加热聚苯乙烯/二氧化硅双层法在硅衬底上生长SiC薄膜及化学热力学分析
DOI：
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发表时间：
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影响因子：
1
通讯作者：
Yu-xia Wang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jian-wen Wang;Zheng Chen;You-ming Zou;Yun Li;Yu-xia Wang
