Kazuya Unno, Takayuki Shibata, Eiji Makino: "Micromachining of diamond probes for atomic force microscopy applications"Sensors and Actuators. A88. 247-255 (2000)
Kazuya Unno, Takayuki Shibata, Eiji Makino: "Micromachining of diamond probes for atomic force microscopy applications"Sensors and Actuators. A88. 247-255 (2000)
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Kazuya Unno、Takayuki Shibata、Eiji Makino：“用于原子力显微镜应用的金刚石探针的微加工”传感器和执行器。
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