Suppression of segregation of the phosphorus δ-doping layer in germanium by incorporation of carbon
Suppression of segregation of the phosphorus δ-doping layer in germanium by incorporation of carbon
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通过掺入碳抑制锗中磷δ掺杂层的偏析
DOI：
10.7567/jjap.55.031304
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发表时间：
2016
影响因子：
1.5
通讯作者：
and K. M. Itoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Yamada;K. Sawano;M. Uematsu;Y. Shimizu;K. Inoue;Y. Nagai;and K. M. Itoh
