Heat treatment in liquid water at 80oC used to improve the interface characteristic of metal-oxide-semiconductor capacitor
Heat treatment in liquid water at 80oC used to improve the interface characteristic of metal-oxide-semiconductor capacitor
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80℃液态水中热处理改善金属氧化物半导体电容器界面特性
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tomohisa Mizuno
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yoshito Hirokawa;Masahiko Hasumi;Toshiyuki Sameshima;Tomohisa Mizuno
