A Two-axis Tri-mode Ultraprecision Positioning System for Picometer Positioning-猫眼课题宝

一种用于皮米定位的两轴三模超精密定位系统

DOI：

发表时间：

2005

期刊：

Proceedings of 5^<th> International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen) Vol.2

影响因子：

通讯作者：

中科院分区：

文献类型：

作者：

H.MIZUMOTO;Y.YABUTA;S.ARII;Y.TAZOE;Y.KAMI