反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による誘電体分布ブラッグ反射鏡の形成（１）
反応性ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による誘電体分布ブラッグ反射鏡の形成（１）
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反应螺旋波激发等离子体溅射法形成介质分布布拉格反射器（一）
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
秩父重英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
粕谷拓生;嶋紘平; 菊地清;小島一信;秩父重英
