Preliminary study on slurryless electrochemical mechanical polishing of sliced 4H-SiC (0001) surface
Preliminary study on slurryless electrochemical mechanical polishing of sliced 4H-SiC (0001) surface
复制标题
4H-SiC(0001)切片表面无浆电化学机械抛光初步研究
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K. Yamamura
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Xu Yang;X. Yang;K. Kawai;K. Arima;K. Yamamura
