双靶直流溅射多层膜的叠加结构对沉积扩散法制备高硅钢硅含量的影响
双靶直流溅射多层膜的叠加结构对沉积扩散法制备高硅钢硅含量的影响
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DOI：
10.13922/j.cnki.cjovst.2016.02.06
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田广科
中科院分区：
文献类型：
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作者：
马海林;刘曦;夏荣斌;田广科
