ブロックコポリマーを用いた微細加工プロセスのモデリングと最適化
ブロックコポリマーを用いた微細加工プロセスのモデリングと最適化
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使用嵌段共聚物对微加工工艺进行建模和优化
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大嶋 正裕
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉元 健治;深渡瀬 健;大嶋 正裕
